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随着半导体制程技术的飞速发展,芯片线宽已经进入纳米级,相应的产品对半导体产品生产环境的要求也越来越高,因此半导体洁净室内的控制标准也提高了很多。在半导体代工厂中,洁净室系统为整条生产线提供洁净的环境,是硅芯片赖以生产加工基本的条件。洁净室,是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内的温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一特定需求范围内。
因此洁净室系统的运行状态对硅芯片品质和良率的影响举足轻重。近年来我国半导体工业发展迅速，半导体芯片使用了太多以往不曾使用的各种特殊材料气体，而且其使用量有强劲的上升趋势。特殊材料气体所具有的危害性非常多，包括毒性，自燃性，助燃性，自行分解性，窒息性，腐蚀性等，特别是其毒性一般非常强。其次这些特殊性材料气体中有许多对人体有害的物质，其中易燃易爆的特殊材料气体例如硅烷泄漏后易引起火灾爆炸事故的发生，另外，这些气体多在洁净室内具有密封性的环境中使用，一旦发生泄漏时危险性极大，其损失不可估量。
对于洁净室内某区域温湿度异常波动,需要巧妙运用在线检测的数据,去系统分析任何一次超出控制的异常情况,找到引起温湿度异常波动的真实原因,从而找到有效的对策以避免问题的再次发生。其次洁净室耗能为一般空调系统之5~10倍，在国内自产能源匮乏且面临能源消耗日益严重的情况下，如何无尘室空调系统的节能技术，以生产力与竞争力，是我们必须面对的课题。生产环境中空气、工艺用纯气和液体的洁净度及其他空气参数（温／湿度，风速，压差）对半导体，制药，电子等行业有着至关重要的作用。
所谓“上”，就是指向天空中的太阳索取能源，就是要想方设法充分利用太阳的光和热；所谓“下”，就是指向人类脚下的地球索取能源，就是要想方设法充分利用地下土壤中的地热资源；所谓“中”，就是指向人类活动的地球表面索取能源，就是要想方设法充分利用地球表面的各种资源，比如，充分利用作物秸秆转化生产能源产品，积极种植速生丰产林木，并加以转化生产能源产品，充分利用人类生活以及畜禽养殖所产生的沼气资源等副产品，等等。
当然，有些地区，还可考虑利用自然风能。在自然科学基金和北京市自然科学基金项目的支持下，该公司研制的“宽温度范围纳米级空气超细颗粒物计数器”将正式在光谷量产。至此，空气中超细颗粒的计量标准在精准度上实现从“克”到“个”的技术飞跃。长期以来，由于技术和设备等因素，我国空气超细颗粒监测都只能在常温下进行质量称算，“但是冷却环节一般就会导致%的误差。”公司联合创始人牛津大学工科博士陈龙飞告诉长江日报记者，目前纳米级空气超细颗粒物的测量技术几乎被国外少数公司垄断，并且对燃烧的高温气体进行超细颗粒物测试尚属于禁区。
陈龙飞说，开发宽温度范围纳米级细颗粒物计数系统，可直接测量手高温源头数据，显着提高测试精度。”目前，武汉华津航科技有限公司研发的高温凝结细颗粒计数器已完成调试，其核心技术已经被东风汽车，苏州苏信等公司看中，达成合作协议。目前，汽车配套机动车年检空气质量监测等需求强烈，该公司拥有的核心技术处于地位，将打破国外垄断并大幅设备测试精度。当空气中的被测组分浓度较高，或者监测方法灵敏度高时，直接采集少量气样即可满足监测分析要求。
常用lmL注射器采集有机蒸气样品。采样时，先用现场气体抽洗—次，然后抽取lmL，密封进气口，带回实验室分析。样品存放时间不宜长，一般应当天分析完。应选择与样气中污染组分既不发生化学反应，也不吸附不渗漏的塑料袋。常用的有聚四氟乙烯袋聚乙烯袋及聚酯袋等。为减小对被测组分的吸附，可在袋的内壁衬银铝等金属膜。采样时，先用二联球打进现场气体冲洗—次，再充满样气，夹封进气口，带回尽快分析。采气管是两端具有旋塞的管式玻璃容器，其容积为～mL。
它的应用十分广泛，在很多行业都不可或缺，尤其在测量无线射频（RF）元件和设备的线性特性方面非常有用。本文主要是针对网络分析仪自身的特点，介绍网络分析仪在使用过程中需要注意的使用步骤、使用要求、基本的校准方式以及如何使用它去执行测试任务等。网络分析仪在正确使用的前提下，是非常的射频仪器，典型的精度为±0.1dB和±0.1度。它可以进行，可重复的RF测量，提供的配置和测量能力像他们应用范围一样广泛。选择合适的仪器，校准，功能，以及采用可靠的RF测量方法，可以优化你的测试的结果（网络分析仪应用案例）。二、常用的网络分析仪的基本结构网络分析仪主要由信号源、信号分离装置、接收机和处理显示单元组成，下面我们做详细的说明。信号源由3～6GHzYIG振荡器、3.8GHz介质振荡器、源模块组件、时钟参考和小数环组成的合成信号源，可以提供多种信号输出。测试装置一般是由定向耦合器和开关构成，其作用是分离反射信号和入射信号，从而进行初期的信号分离和预处理。信号接收机测试装置预处理的信号经过处理之后的再次处理，其作用是对用于信号的下变频及中频数字信号处理，供输出使用或者显示比对，接收机主要是由取样/混频器、中频处理和数字信号处理等部分组成。显示器作用是直观的可以看出显示输出或者信号比对等，用于字符和图形的高亮度、高速显示，主要由图形处理器、高亮LCD显示器、逆变器等部分组成。网络分析仪的常用技术及性能参数测试端口输出频率范围、分辨率、精度等。输出特性功率范围、分辨率、电平精度、电平线性、阻抗、二次谐波、三次谐波、非谐波寄生信号（典型值）、与混频器有关的非谐波寄生信号等。测试端口输入特性频率范围、平均噪声电平、输入电平、损坏电平、阻抗、谐波、二次谐波、三次谐波、谐波测量精度及动态范围等。群延迟特性范围、孔径、群延迟精度等。结构特性尺寸、重量等。其他的还应该包括了解它的方向性、耦合度、插入损耗、输出、连接器，以及其他的一些校准的配件零件等。一般网络分析仪的准备阶段/校准方式/操作步骤/执行方式/注意事项准备阶段准备网络分析仪和DUT;清洁，检查和测量所有连接器;如果使用SOLT校准，选择一种处理非插入式连接的方法;连接分析仪的电缆和适配器到分析仪上。校准方式选择适当的校准工具包或定义输入校准标准;设置IF带宽并平均以小化校准期间的噪声;手动校正或使用自动校准;采用熟知的核查标准验证校准质量;保存仪器状态和校准。
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